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特殊困難有害物質採樣分析方法研究-半導體製造作業環境之磷化氫濃度測定技術...

行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所

特殊困難有害物質採樣分析方法研究-半導體製造作業環境之磷化氫濃度測定技術研究 = Study on detection methods of phosphine in semiconductor workplace atmospheres

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Study on detection methods of phosphine in semiconductor workplace atmospheres
團體作者:	行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所
出版地:	台北市
出版者:	行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所;
出版年:	民85
版本:	初版
面頁冊數:	iv,87面圖,表 : 26 公分;
集叢名:	IOSH勞工安全衛生研究報告
標題:	工業安全 -
附註:	附錄: 參考書目

特殊困難有害物質採樣分析方法研究-半導體製造作業環境之磷化氫濃度測定技術研究 = Study on detection methods of phosphine in semiconductor workplace atmospheres
行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所

特殊困難有害物質採樣分析方法研究-半導體製造作業環境之磷化氫濃度測定技術研究 = Study on detection methods of phosphine in semiconductor workplace atmospheres / 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所編 - 初版. - 台北市 : 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所, 民85. - iv,87面 ; 圖,表 ; 26 公分. - (IOSH勞工安全衛生研究報告).
附錄: 參考書目.
工業安全

特殊困難有害物質採樣分析方法研究-半導體製造作業環境之磷化氫濃度測定技術研究 = Study on detection methods of phosphine in semiconductor workplace atmospheres
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200 1 $a 特殊困難有害物質採樣分析方法研究-半導體製造作業環境之磷化氫濃度測定技術研究 $d Study on detection methods of phosphine in semiconductor workplace atmospheres $f 行政院勞工委員會勞工安全衛生研究所編
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215 0 $a iv,87面 $c 圖,表 $d 26 公分
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900 $c 到館: 1997/04/16 $d 編目: 1997/04/16

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